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本發(fā)明屬于氧化亞硅的技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種化學(xué)氣相沉積爐及生產(chǎn)氧化亞硅的方法。背景技術(shù)氧化亞硅,也有人直接稱為硅氧化物,并用SiOx(0＜x＜2)表示。由于氧化亞硅可提供較大的電池容量和較少的體積膨脹,因此,可用于制備性能優(yōu)良的鋰離子電池負(fù)極材料。氧化亞硅簡單的制備方式 …...阿里巴巴生產(chǎn)一氧化硅用真空爐 硅片燒結(jié)爐 氣氛真空爐,實驗電爐,這里云集了眾多的供應(yīng)商,采購商,制造商。這是生產(chǎn)一氧化硅用真空爐 硅片燒結(jié)爐 氣氛真空爐的詳細(xì)頁面。產(chǎn)地:上海,是否進口: 否,訂貨號:1901220703,加工定制:是,貨號:1901220703 ...

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碳化硅高溫氧化爐能夠滿足 SiC 圓片的高溫氧化工藝; 同時亦可用于常規(guī)的硅圓片的氧化。具有高性能, 占地少和降低成本生產(chǎn)的特點; 提供工藝靈活度, 同時能夠保證有毒氣體的使用...爐氧化硅回轉(zhuǎn)真空烘干設(shè)備產(chǎn)品介紹、批發(fā)價格及其供應(yīng)商 江蘇健達干燥工程有限公司的聯(lián)系方式,更多相關(guān)信息盡在食品商務(wù)網(wǎng)。爐氧化硅回轉(zhuǎn)真空烘干設(shè)備項目描述：采購優(yōu)質(zhì)的爐氧化硅回轉(zhuǎn)真空烘干設(shè)備、爐氧化硅雙錐真空干燥機、爐氧化硅雙錐回轉(zhuǎn)真空干燥機到江蘇健達干燥工程有限公司 ...

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氧化方法有干氧氧化和水汽氧化（含氫氧合成）兩種,擴散爐是用這兩種氧化方法制備氧化層的必備設(shè)備。擴散爐是半導(dǎo)體集成電路工藝的基礎(chǔ)設(shè)備,它與半導(dǎo)體工藝互相依存、互相促進、共同發(fā)展...